Kwars wafli arassalaýjy gaýyk
Kwars wafli arassalaýjy gaýyk, ýarymgeçirijini öndürmek prosesinde wafli arassalamak üçin ulanylýan enjamdyr.
Material: 99,99% kwars
Beýany
Aýratynlyklary
- Temperatureokary temperatura garşylyk
- Poslama garşylyk
- Garşylyk geýiň
- Arassalamak aňsat
Ulanyň: ýerüsti hapalaýjylary aýyryň
Ondarymgeçiriji çipleriň önümçilik hilini üpjün ediň.
Arza
1. Öň - Diffuziýany arassalamak
Wafleri çygly skameýka ýa-da suwa çümdürmek arassalaýyş ädimleri (meselem, RCA arassalamak) arkaly ýokary - temperaturanyň ýaýramagyndan ýa-da okislenme proseslerinden öň organiki, metal we bölejik hapalaýjylary aýyrmak üçin ulanylýar.
2. Post - CMP (Himiki mehaniki meýilnamalaşdyrmak) arassalamak
Post {0} post post wagtynda wafli saklaýar, galyndy galyndylaryny we ýerüsti kemçilikleri ýok etmek üçin arassalaýar, soňraky litografiýa ädimleri üçin amatly tekizligi üpjün edýär.
3. Öň - Çyzyk (FEOL) önümçiliginiň öň - Ahyry -
Derwezäniň oksidiniň ösmegi, epitaksial çökdürilmegi ýa-da ion implantasiýasy üçin ultra - arassa ýüzler zerur bolan FEOL arassalaýyş tapgyrlarynda işleýär.
4. Yzyna - Çyzyk (BEOL) gaýtadan işlemegiň - Soňy -
Post- post ýa-da post {{1} post post post wagtynda wafli goldaýar, fotorezisti, önümleri we metal hapalary özara baglanyşykdan soň aýyrmak üçin.
5. Giňişleýin gaplama
2.5D / 3D IC gaplamada baha bermezden ýa-da baglamazdan ozal waf - derejeli arassalamagy ýeňilleşdirýär, ygtybarly baglanyşyklar üçin - mugt interfeýsleriň hapalanmagyny üpjün edýär.
6. Fotowoltaik önümçilik
Silikon substratlaryny arassalamak, ýagtylygyň siňdirilmegi we energiýa öwrülişiniň netijeliligi üçin ýeriň hilini ýokarlandyrmak üçin gün öýjük önümçiliginde ulanylýar.
Sypatlar
|
Fiziki aýratynlyklar |
Gymmatlyklar |
|
Arassalyk |
＞99.99% |
|
Dykyzlygy |
2.2g / sm3 |
|
Aç-açanlyk |
＞90% |
|
Mohs gatylygy |
5.5--6.5 |
|
Deformasiýa nokady |
1280 dereje |
|
Softumşak nokat |
1750 dereje |
|
Annealing nokady |
1250 dereje |
|
Aýratyn ýylylyk (20 - 350 dereje) |
670J / kg. derejesi |
|
Malylylyk geçirijiligi (20 dereje) |
1.4W / m. derejesi |
|
Atylylyk geçirijiligi (w / mk, 1000 dereje) |
1.0-1.2 |
|
Döwülme görkezijisi |
1.4585 |
|
Malylylyk giňeliş koeffisiýenti |
5.510 -7sm / sm. derejesi |
|
Gyzgyn - işleýän temperatura |
1750--2050 dereje |
|
Gysga - möhletli Hyzmat temperaturasy |
1450 dereje |
|
Uzyn - möhletli Hyzmat temperaturasy |
1100 dereje |
|
Himiki aýratynlyklary |
Gymmatlyklar |
|
Kislota çydamly |
Güýçli kislota (HF-den başga), güýçli aşgar, organiki ergin |
|
Temperatureokary temperatura Poslama garşy |
Gowy |
|
Metal arassalygy |
＜ 5 ppm |
|
Elektrik aýratynlyklary |
Gymmatlyklar |
|
Çydamlylyk |
7107Cc |
|
Izolýasiýa güýji |
250 ~ 400Kv / sm |
|
Dielektrik yzygiderli |
3.7~3.9 |
|
Dielektrik siňdiriş koeffisiýenti |
＜410-4 |
|
Dielektrik ýitgi koeffisiýenti |
＜110-4 |
|
Mehaniki aýratynlyklary |
Gymmatlyklar |
|
Sykyş güýji |
1100MPa |
|
Egilmek güýji |
67MPa |
|
Dartyş güýji |
48MPa |
|
Poissonyň gatnaşygy |
0.14~0.17 |
|
Youngaş modul |
72000MPa |
|
Gyrkym moduly |
31000MPa |
Arassalamak usullary
Çümdürilişi arassalamak:
Wafli arassalaýjy gaýykda goýuň, soňra arassalaýjy gämini arassalaýjy suwuklyga çümdüriň we arassalaýyş effektini gowulandyrmak üçin wafli gaýygyny galdyryp arassalaýjy suwuklyk bilen wafli üstüň arasyndaky aragatnaşygy artdyryň.
Spreý arassalamak:
Arassalaýjy gämini pürküji kamerasynda dik duruň we hapalary ýok etmek üçin arassalaýjy suwuklygy wafli ýüzüne sepiň. ?
Gämileri arassalamagyň ähmiýeti:
- Wafli arassalygyny üpjün ediň: Arassa wafli ýarymgeçiriji çipleriň öndürilişinde möhüm ähmiýete eýe we arassalaýyş gämisi arassalamak işinde möhüm rol oýnaýar.
- Ondarymgeçiriji çipleriň ygtybarlylygyny üpjün ediň: Çipleriň ygtybarlylygyny üpjün ediň we ýerüsti hapalaýjylary aýyrmak bilen önümiň kemçiliklerini azaldyň.
- Ondarymgeçiriji çipleriň hasyllylygyny ýokarlandyrmak: Wafleriň arassalygyny ýokarlandyrmak, şeýlelik bilen ýarymgeçiriji çipleriň öndürijiligini ýokarlandyrmak.
Gyzgyn bellikler: kwars wafli arassalaýjy gaýyk, Hytaý kwars wafli arassalaýjy gaýyk öndürijileri, üpjün edijiler, zawod
Gözleg iberiň
Şeýle hem halap bilersiňiz
